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半导体酸性废气要怎么处理?

2023-11-20 09:38:36

半导体酸性废气来源:

半导体行业的酸性废气主要来自清洗过程,其中使用的清洗剂溶剂中含有大量的酸性废气,主要成分为硝酸、硫酸、氢氟酸等,其中大部分通过挥发成废气排放。

废气处理

半导体酸废气处理方法

碱液二次喷淋法,又称化学洗涤法。

由于液体本身的溶解特性,可以更好地利用酸碱中和去除污染物,达到大气排放标准,喷涂法是半导体行业酸碱废气处理的主要处理方法。

半导体酸性废气处理原理:

废气通过设备直接连接收集,在风机的作用下连续输送到净化设备,然后通过通风管道输送,使废气输送到系统喷淋塔,喷淋塔内气体经过碱性洗液喷淋洗涤过程,废气中容易产生酸雾的气体成分与碱性水雾充分混合,中和反应,形成良好的气液交和。喷雾后,水雾在洗涤塔填料层中形成多孔接触面较大的处理层,进一步处理酸雾。

半导体酸性废气处理设备优点:

⑴半导体酸性废气处理设备工艺简单,成本低,运行成本低,安装方便,耐腐蚀;

⑵性能稳定,除尘效率高,脱硫效果好;

⑶重量轻,安装、运输、维护管理方便;

⑷特别适用于水溶性含尘气体;


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