废气污染源这里所介绍的处理的废气主要来自硅料处理车间、电池车间。具体来说：硅料处理车间的酸清洗工序、酸浸泡工序、碱腐蚀工序产生的废气;电池车间刻蚀工序、制绒工序、扩散工序以及印刷工序产生的废气。根据废气的种类和性质采取不同的处理方法。由于车间废气主要为酸性气体，所以主要采取的方法为碱液喷淋法和吸附剂吸附法。

废气处理工艺流程对于电池车间刻蚀、制绒工序产生的废气主要污染物为NOx和HF气体;硅料处理车间酸浸泡工序主要的废气污染物为NOx，处理工艺流程如下：

电池车间225MW扩散工序产生的废气主要是CL2,处理工艺流程如下：

电池车间175MW扩散工序产生的废气主要是CL2,处理工艺流程如下：

硅料处理酸清洗工序和电池100MW制绒工序产生的废气污染物为NOx，采用两级喷淋加一级吸附，处理工艺流程如下：

操作规程

净化系统在调整完毕后，应将调节阀门加以固定，运行中不得随意改动。当一个系统中连接有几个排气点时，若某一排气点的工艺设备停止运行，该排气罩也不宜关闭，以免改变其他排气罩的排放量。

应按规定的工艺设备和净化设备之间的开车、停车顺序启闭设备。为防止电动机启动时过载，特别是对于高温烟气净化系统，可调节总阀门开度，在减小风量情况下启动。

运行时应记好运行日志。日志内容包括换班时间与交接班情况，当班时间内设备运行情况，各种设备的停车时间及其原因等。当设备发生故障时，应详细记载发生故障的原因、情况及对检修的参考意见等。

应加强设备的日常维护。日常维护的主要任务是消除设备、管道、排气罩、清扫孔、观察孔、排灰阀等处的漏风。调节好系统的排液量、风量和风压。

每月定期清除管道内和设备内的积尘等沉积物。

设备底部水池有液位标记，使用前务必按液位标记注入吸收液。

使用过程中应注意补充吸收液。

使用时应先开循环水泵2～3分钟，再开动鼓风机，停机时应先停鼓风机1～2分钟后，再停循环水泵。

每天下午一点检查塔体底部水池内液体碱性浓度及排气口净化程度，c过标准时应更换底部水池中的吸收液。

设备半年做一次检修，检查盘状喷淋管和填料的堵塞情况，并对其进行清洗。

各设备必须按计划运行，不允许私自开启或停运(设备出现故障除外)。

必须严格坚守岗位，发现问题及时处理，各岗位卫生必须保持清洁，每班交班前必须清扫干净。

吸附塔

吸附装置：净化器主要有箱体、进风口、吸附段和出口等组成。在吸附段内填充吸附剂。含酸废气由进风口进入箱体，然后通过吸附段，在吸附段内经过净化，净化后的空气由通风机排入大气。吸附剂的更换应根据具体的使用情况定期更换。